特許
J-GLOBAL ID:201703009294840201
データ処理装置、及び、データ処理プログラム
発明者:
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
, 山口 昭則
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-086526
公開番号(公開出願番号):特開2014-211691
特許番号:特許第6086017号
出願日: 2013年04月17日
公開日(公表日): 2014年11月13日
請求項(抜粋):
【請求項1】 チップに設計されたマスクパターンの部分形状を表す記号配列を登録した配列ライブラリを記憶した記憶部と、
設計データで示されるマスクパターンが形成される領域を記号化して、前記配列ライブラリの前記記号配列で検索することによって前記部分形状を抽出する抽出部と
を有することを特徴とするデータ処理装置。
IPC (2件):
G06F 17/50 ( 200 6.01)
, G03F 1/68 ( 201 2.01)
FI (3件):
G06F 17/50 666 C
, G06F 17/50 658 M
, G03F 1/68
引用特許: