電子分光器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-235046
公開番号（公開出願番号）：特開2017-212193
出願日： 2016年12月02日
公開日（公表日）： 2017年11月30日
要約：

【課題】試料マニピュレーションの無い荷電粒子分光器に於いて、歪みの無い観察画像を実現する技術を提供する。【解決手段】サンプル10から放出された荷電粒子を、測定領域へ輸送するための光学軸13を有するレンズシステム12と、光学軸13に垂直な方向に荷電粒子を偏向するデフレクタ14a、14bと、荷電粒子の位置を検出する検出器構成とを備え、レンズシステム12の一部を、荷電粒子ビームの偏向と同期して所定方向に変位させる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

粒子放出サンプル(10)を分析するための半球分析デバイス型の荷電粒子分光器であって、前記分光器は、前記粒子が測定領域(M)に入ることを可能にする入口を有する測定領域(M)と、前記荷電粒子の粒子ビームを形成し、前記粒子を前記粒子放出サンプルと前記測定領域の前記入口との間で輸送するレンズシステム(12)とを備え、前記レンズシステムは、実質的に真直の光学軸(13)を有し、前記分光器はさらに、前記粒子ビームが前記測定領域(M)へと入る前に、前記粒子ビームを前記レンズシステムの前記光学軸(13)に垂直な少なくとも1つの座標方向(x、y)に偏向するように構成される、前記レンズ内のデフレクタ構成(14a、14b)と、前記測定領域内の前記荷電粒子の位置を検出するための検出器構成(9)とを備え、前記検出器構成(9)は、二次元での前記荷電粒子の位置を決定するように構成され、その1つは、前記粒子のエネルギの指標となり、その1つは、前記粒子の開始方向または開始位置の指標となり、少なくとも第1の機構(26;26’;26’’)は、少なくとも前記レンズ(12)の一部を、サンプルスポットと分析器の前記入口との間の軸に対して少なくとも第1の座標方向に前記粒子ビームの偏向と同期して変位させるように構成されることを特徴とする、分光器。

IPC (5件)：

H01J 49/48 , H01J 49/22 , H01J 49/06 , G01N 23/227 , G01N 23/225

FI (5件)：

H01J49/48 , H01J49/22 , H01J49/06 , G01N23/227 310 , G01N23/225

Fターム (17件)：

2G001AA03 , 2G001BA08 , 2G001CA03 , 2G001GA02 , 2G001GA13 , 2G001JA04 , 2G001JA05 , 2G001JA11 , 2G001KA12 , 2G001MA05 , 2G001SA01 , 5C038FF10 , 5C038FF13 , 5C038KK07 , 5C038KK17 , 5C038KK20 , 5C038KK22

引用特許：

出願人引用 (3件)

粒子分光計のための分析装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2014-560888 出願人：ヴィゲー・シエンタ・アーベー
特開昭62-098544
特許第6194730号

審査官引用 (3件)

粒子分光計のための分析装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2014-560888 出願人：ヴィゲー・シエンタ・アーベー
特開昭62-098544
特許第6194730号

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