特許
J-GLOBAL ID：201703010001648903
粒子径分布測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西村 竜平
, 齊藤 真大
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-126911
公開番号（公開出願番号）：特開2015-001478
特許番号：特許第6218449号
出願日： 2013年06月17日
公開日（公表日）： 2015年01月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 分散された粒子群に検査光を照射する光源と、前記検査光が粒子群に当たって生じる二次光を受光する受光部と、前記受光部の出力信号から得られる二次光の特性(以下、実二次光特性と言う。)に基づいて前記粒子群の粒子径分布を算出する演算部とを具備し、
前記演算部が、粒子径分布の仮想解から算出される仮想的な二次光の特性(以下、仮想二次光特性と言う。)を前記実二次光特性に近づけるべく前記仮想解を1回以上更新し、その結果得られた仮想解を粒子径分布として算出する反復解法を用いるものであって、
前記演算部が、仮想解を互いに異なる複数の反復解法に与えて複数の粒子径分布を算出し、それら複数の粒子径分布のうちの複数又は全部を、前記互いに異なる複数の反復解法に仮想解として与えて算出させた新たな粒子径分布によって更新する手順を1回以上繰り返すものであることを特徴とする粒子径分布測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
審査官引用 (8件)
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特開平4-184144
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特開平4-191640
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特開昭62-285179
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