特許

J-GLOBAL ID：201703010306842513

透明伝導性酸化物薄膜基板、その製造方法及びこれを含む有機電界発光素子および光電池

発明者： キム ソ ヒュン ,  ヨン グン サン ,  イ ヒュンヒ ,  ヨ ユン ゾ
出願人/特許権者： コーニング精密素材株式会社
代理人 (4件)： 松永 宣行 ,  辻 徹二 ,  三好 秀和 ,  伊藤 正和
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-151604
公開番号（公開出願番号）：特開2014-026975
特許番号：特許第6150646号
出願日： 2013年07月22日
公開日（公表日）： 2014年02月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板と、 前記基板に形成され、第1ドーパントがドーピングされている第1透明伝導性酸化物薄膜と、 前記第1透明伝導性酸化物薄膜に形成され、第2ドーパントが前記第1ドーパントのドーピング濃度よりも相対的に高くドーピングされて、前記第1透明伝導性酸化物薄膜よりも表面が相対的に平坦な第2透明伝導性酸化物薄膜と を含み、 前記第1ドーパントの含量比は、4.5〜7.0wt%であり、前記第2ドーパントの含量比は、7.5〜9.5wt%であることを特徴とする透明伝導性酸化物薄膜基板。

IPC (7件)：

H01B 5/14 ( 200 6.01) ,  H01L 51/50 ( 200 6.01) ,  H05B 33/28 ( 200 6.01) ,  H05B 33/26 ( 200 6.01) ,  H01B 13/00 ( 200 6.01) ,  H01L 31/04 ( 201 4.01) ,  C23C 16/40 ( 200 6.01)

FI (7件)：

H01B 5/14 A ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/28 ,  H05B 33/26 Z ,  H01B 13/00 503 B ,  H01L 31/04 M ,  C23C 16/40

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 光電変換装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-116667   出願人：株式会社カネカ