特許
J-GLOBAL ID：201703010513789258
クライオポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
森下 賢樹
, 村田 雄祐
, 三木 友由
, 富所 輝観夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-155282
公開番号（公開出願番号）：特開2017-036731
出願日： 2016年08月08日
公開日（公表日）： 2017年02月16日
要約：
【課題】クライオポンプの気体吸蔵量を向上する。【解決手段】クライオポンプ10は、シールド主開口34から流入する気体の流れを冷凍機構造部21から偏向させる気体流れ調整部材80を備える。気体流れ調整部材80は、冷凍機16の第2冷却ステージ24及び第2クライオパネルユニット20の両方と非接触であるように冷凍機構造部21に隣接して配置されている。気体流れ調整部材80は、冷凍機16の第1冷却ステージ22に熱的に結合されていてもよい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1冷却温度に冷却される第1冷却ステージと、前記第1冷却温度より低い第2冷却温度に冷却される第2冷却ステージと、前記第2冷却ステージを前記第1冷却ステージに構造的に支持する冷凍機構造部と、を備える冷凍機と、
気体を受け入れるためのシールド主開口を有し、前記第1冷却ステージに熱的に結合されている放射シールドであって、前記第2冷却ステージを包囲するシールド側部を備え、前記冷凍機構造部が挿入されるシールド側部開口を前記シールド側部に有する放射シールドと、
前記第2冷却ステージに熱的に結合され、前記第2冷却ステージとともに前記シールド側部に包囲されているクライオパネルユニットと、
前記第2冷却ステージ及び前記クライオパネルユニットの両方と非接触であるように前記冷凍機構造部に隣接して配置され、前記シールド主開口から流入する前記気体の流れを前記冷凍機構造部から偏向させる気体流れ調整部材と、を備え、
前記クライオパネルユニットは、前記シールド主開口に対面するトップクライオパネルを含み、前記トップクライオパネルは前記冷凍機構造部との間に隙間領域を形成するよう配置されており、
前記気体流れ調整部材は、前記隙間領域に進入する内縁部を備え、前記内縁部は、前記トップクライオパネルに覆われることを特徴とするクライオポンプ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
3H076AA27
, 3H076BB23
, 3H076BB43
, 3H076CC54
