特許
J-GLOBAL ID：201703011104764312
ケミカルメカニカル研磨パッドのための研磨層の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人 津国
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-125341
公開番号（公開出願番号）：特開2017-013224
出願日： 2016年06月24日
公開日（公表日）： 2017年01月19日
要約：
【課題】ケミカルメカニカル研磨パッドのための研磨層を製造する改善された方法を提供する。【解決手段】ケミカルメカニカル研磨パッド研磨層を形成する方法であって、溝パターンのネガを有するベースを有する金型を提供する工程、ポリ側(P)液状成分を提供する工程、イソ側(I)液状成分を提供する工程、加圧ガスを提供する工程、軸混合装置を提供する工程、ポリ側(P)液状成分、イソ側(I)液状成分及び加圧ガスを軸混合装置に導入して混合物を形成する工程、混合物を軸混合装置からベースに向けて5〜1,000m/secの速度で放出する工程、混合物をケーキへと固化させる工程、ケーキからケミカルメカニカル研磨パッド研磨層を得る工程であって、ケミカルメカニカル研磨パッド研磨層が研磨面を有し、研磨面に溝パターンが形成されており、研磨面が、基材を研磨するように適合されている、工程を含む方法が提供される。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
ケミカルメカニカル研磨パッド研磨層を形成する方法であって、
ベースを有する金型を提供する工程であって、前記ベースが、その中に形成された溝パターンのネガを有する、工程、
(P)側ポリオール類、(P)側ポリアミン類及び(P)側アルコールアミン類の少なくとも一つを含むポリ側(P)液状成分を提供する工程、
少なくとも一つの多官能イソシアネート類を含むイソ側(I)液状成分を提供する工程、
加圧ガスを提供する工程、
内部円柱形チャンバを有する軸混合装置を提供する工程であって、
前記内部円柱形チャンバが、閉止端、開放端、対称軸、前記内部円柱形チャンバに通じる少なくとも一つの(P)側液体供給ポート、前記内部円柱形チャンバに通じる少なくとも一つの(I)側液体供給ポート、及び前記内部円柱形チャンバに通じる少なくとも一つの接線方向加圧ガス供給ポートを有し、
前記閉止端及び前記開放端が前記対称軸に対して垂直であり、
前記少なくとも一つの(P)側液体供給ポート及び前記少なくとも一つの(I)側液体供給ポートが、前記閉止端に近い前記内部円柱形チャンバの周囲に沿って配置され、
前記少なくとも一つの接線方向加圧ガス供給ポートが、前記閉止端から前記少なくとも一つの(P)側液体供給ポート及び前記少なくとも一つの(I)側液体供給ポートより下流で前記内部円柱形チャンバの周囲に沿って配置され、
前記ポリ側(P)液状成分が、前記少なくとも一つの(P)側液体供給ポートを介して6,895〜27,600kPaの(P)側チャージ圧で前記内部円柱形チャンバに導入され、
前記イソ側(I)液状成分が、前記少なくとも一つの(I)側液体供給ポートを介して6,895〜27,600kPaの(I)側チャージ圧で前記内部円柱形チャンバに導入され、
前記内部円柱形チャンバへの前記ポリ側(P)液状成分と前記イソ側(I)液状成分との合計質量流量が1〜500g/sであり、
前記ポリ側(P)液状成分、前記イソ側(I)液状成分及び前記加圧ガスが前記内部円柱形チャンバ内で混ぜ合わされて混合物を形成し、
前記加圧ガスが、前記少なくとも一つの接線方向加圧ガス供給ポートを介して150〜1,500kPaの供給圧で前記内部円柱形チャンバに導入され、
前記内部円柱形チャンバへの前記加圧ガスの入口速度が、20°C及び1気圧の理想気体条件に基づいて計算して50〜600m/sである、工程、
前記混合物を前記内部円柱形チャンバの前記開放端から前記ベースに向けて5〜1,000m/secの速度で放出する工程、
前記混合物をケーキへと固化させる工程、
前記ケーキを前記金型から分離させる工程、及び
前記ケーキからケミカルメカニカル研磨パッド研磨層を得る工程であって、前記ケミカルメカニカル研磨パッド研磨層が研磨面を有し、前記研磨面に溝パターンが形成されており、前記研磨面が、基材を研磨するように適合されている、工程
を含む方法。
IPC (4件)：
B24B 37/24
, B24B 37/26
, H01L 21/304
, C08G 18/48
B24B37/00 P
, B24B37/00 T
, H01L21/304 622F
, C08G18/48
3C158AA07
, 3C158CA01
, 3C158CB10
, 3C158DA12
, 3C158DA17
, 3C158EA11
, 3C158EB01
, 3C158EB05
, 3C158EB28
, 3C158EB29
, 4J034BA08
, 4J034CA04
, 4J034CB03
, 4J034CB07
, 4J034CC03
, 4J034DA01
, 4J034DB04
, 4J034DB07
, 4J034DC50
, 4J034DG01
, 4J034HA01
, 4J034HA07
, 4J034HC12
, 4J034HC64
, 4J034HC67
, 4J034HC71
, 4J034JA01
, 4J034JA32
, 4J034KA01
, 4J034KB02
, 4J034KC17
, 4J034KD12
, 4J034KE02
, 4J034QB01
, 4J034QB13
, 4J034QB14
, 4J034QB16
, 4J034QD03
, 4J034RA14
, 5F057AA24
, 5F057BA11
, 5F057DA03
, 5F057EB03
, 5F057EB06
, 5F057EB07
, 5F057EB08
