変位測定装置および変位測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：須田篤 , 楠修二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-067247
公開番号（公開出願番号）：特開2017-181233
出願日： 2016年03月30日
公開日（公表日）： 2017年10月05日
要約：

【課題】高分解能かつ高精度な変位測定を実現でき、レーザー波長光束群の強度を分析することを特徴する光学式の変位測定装置、およびそれを用いた変位測定方法を提供する。【解決手段】コリメート部4が、フェムト秒レーザー光2をコリメートしてコリメート光束3を生成する。被測定物集光レンズ6が、コリメート光束3を集光して被測定物11に入射する。ピンホール集光レンズ7が、被測定物11からの反射光束17を集光する。ピンホール5が、ピンホール集光レンズ7の後方焦点位置に配置されている。ファイバ集光レンズ8が、反射光束17を集光する。ファイバA13が、ファイバ集光レンズ8の後方焦点位置に開口を配置している。ピンホール集光レンズ7の入射前に反射光束17を分光し、その分光した光を、ピンホール5の通過以外の条件をファイバA13で取得した光と一致させて、ファイバA13で取得した光に対するリファレンスとする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

等周波数間隔多波長レーザー光源と、前記等周波数間隔多波長レーザー光源から照射されるレーザー光をコリメートしてコリメート光束を生成するコリメート部と、前記コリメート光束を集光して被測定物に入射する被測定物集光レンズと、前記被測定物からの反射光束を集光するピンホール集光レンズと、前記ピンホール集光レンズの後方焦点位置に配置したピンホールと、前記反射光束を集光するファイバ集光レンズと、前記ファイバ集光レンズの後方焦点位置に開口を配置したファイバと、前記ファイバで取得した光を分析するスペクトラムアナライザとを有し、前記ピンホール集光レンズ入射前に前記反射光束を分光し、その分光した光を、前記ピンホールの通過以外の条件を前記ファイバで取得した光と一致させて、前記ファイバで取得した光に対するリファレンスとすることを特徴とする光学式の変位測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 , G02B 21/00 , G02B 21/18

FI (3件)：

G01B11/00 B , G02B21/00 , G02B21/18

Fターム (37件)：

2F065AA02 , 2F065AA06 , 2F065AA20 , 2F065CC17 , 2F065CC21 , 2F065DD03 , 2F065EE00 , 2F065FF10 , 2F065FF41 , 2F065FF61 , 2F065GG04 , 2F065GG23 , 2F065JJ05 , 2F065LL00 , 2F065LL02 , 2F065LL04 , 2F065LL10 , 2F065LL30 , 2F065LL37 , 2F065LL46 , 2F065LL61 , 2F065LL67 , 2F065MM16 , 2F065MM26 , 2F065MM28 , 2F065QQ42 , 2F065UU07 , 2H052AA07 , 2H052AB14 , 2H052AB24 , 2H052AB25 , 2H052AC15 , 2H052AC18 , 2H052AC34 , 2H052AD16 , 2H052AD20 , 2H052AF07

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