特許
J-GLOBAL ID：201703011867799486

シート剥離装置および剥離方法

発明者：
杉下 芳昭

杉下 芳昭 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (2件)： 杉浦 正知 ,  杉浦 拓真
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-048613
公開番号（公開出願番号）：特開2017-163089
出願日： 2016年03月11日
公開日（公表日）： 2017年09月14日
要約：
【課題】装置の大型化を抑制することができるシート剥離装置および剥離方法を提供すること。【解決手段】シート剥離装置10は、一体物WKを支持する一体物支持手段20と、被着体WFに貼付された接着シートASを保持するシート保持手段30と、被着体WKとシート保持手段30とを相対移動させて当該被着体WKから接着シートASを剥離する剥離手段40とを備え、一体物支持手段20は、シート保持手段30を備えた第1支持手段21と、被着体WFを支持する第2支持手段22とを含み、剥離手段40は、第1支持手段21と第2支持手段22とを相対移動させて被着体WFから接着シートASを剥離する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被着体の一方の面に接着シートが貼付された一体物から当該接着シートを剥離するシート剥離装置において、 前記一体物を支持する一体物支持手段と、 前記被着体に貼付された接着シートを保持するシート保持手段と、 前記被着体とシート保持手段とを相対移動させて当該被着体から前記接着シートを剥離する剥離手段とを備え、 前記一体物支持手段は、前記シート保持手段を備えた第1支持手段と、前記被着体を支持する第2支持手段とを含み、前記剥離手段は、前記第1支持手段と第2支持手段とを相対移動させて前記被着体から前記接着シートを剥離することを特徴とするシート剥離装置。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/304
FI (2件)：
H01L21/68 N ,  H01L21/304 622J
Fターム (45件)：
5F057AA33 ,  5F057BA11 ,  5F057BB03 ,  5F057CA11 ,  5F057EC15 ,  5F057FA28 ,  5F057FA30 ,  5F131AA02 ,  5F131AA11 ,  5F131AA12 ,  5F131AA13 ,  5F131AA21 ,  5F131AA22 ,  5F131AA23 ,  5F131AA40 ,  5F131BA53 ,  5F131CA38 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB12 ,  5F131DB22 ,  5F131DB23 ,  5F131DB25 ,  5F131DB27 ,  5F131DB32 ,  5F131EA07 ,  5F131EA22 ,  5F131EB01 ,  5F131EB11 ,  5F131EB31 ,  5F131EB42 ,  5F131EB46 ,  5F131EC32 ,  5F131EC33 ,  5F131EC34 ,  5F131EC35 ,  5F131EC37 ,  5F131EC63 ,  5F131EC64 ,  5F131EC68 ,  5F131EC69 ,  5F131EC72 ,  5F131EC73 ,  5F131EC76 ,  5F131EC77
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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