特許
J-GLOBAL ID：201703011899546156
圧電アクチュエータ及び光走査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-174661
公開番号（公開出願番号）：特開2014-082464
特許番号：特許第6052100号
出願日： 2013年08月26日
公開日（公表日）： 2014年05月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数層の圧電体と、
前記複数層の圧電体のそれぞれを挟むように形成された複数の電極と、
前記複数層の圧電体と、前記複数の電極とがその上部に形成される基板と、を有し、
前記複数層の圧電体は、
少なくとも第一の圧電体と第二の圧電体と、を有し、
前記複数の電極は、
それぞれが複数層で形成される膜であって、
前記基板の上に形成される下部電極と、
前記下部電極上に形成される前記第一の圧電体の上部に形成される中間電極と、
前記中間電極上に形成される前記第二の圧電体の上部に形成される上部電極と、を含み、
前記下部電極と前記中間電極とは、それぞれが少なくとも3層で形成される膜であり、
前記上部電極は、少なくとも2層で形成される膜である圧電アクチュエータ。
IPC (2件)：
H01L 41/047 ( 200 6.01)
, H01L 41/09 ( 200 6.01)
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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