試料台、熱電特性評価装置、熱電特性を評価する方法、および、電極を評価する方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-162416
公開番号（公開出願番号）：特開2017-040556
出願日： 2015年08月20日
公開日（公表日）： 2017年02月23日
要約：

【課題】測定されるべき試料の大きさに依存することなく熱電特性を高精度に測定するための試料台、それを用いた熱電特性装置、それを用いた熱電特性評価方法、および、電極を評価する方法を提供すること。【解決手段】本発明の試料台は、先端以外が絶縁された第1/第2の熱電対が埋め込まれた第1/第2のブロックを備え、第1/第2のブロックは、第1/第2の熱電対のそれぞれの先端が試料と接触するよう、試料を挟持し、第1の熱電対と試料とが接する領域以外の第1の熱電対と第1のブロックとの間の空間、ならびに、第2の熱電対と試料とが接する領域以外の第2の熱電対と第2のブロックとの間の空間は、導電性を有する材料で充填されており、第1/第2の熱電対は、電圧計に接続されるよう、第1/第2のブロックの平面方向の端部から外部へ出ている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料を挟持し、前記試料の熱電特性を評価するための試料台であって、先端以外が絶縁された第1の熱電対が埋め込まれた第1のブロックと、先端以外が絶縁された第2の熱電対が埋め込まれた第2のブロックとを備え、前記第1のブロックと前記第2のブロックとは、前記第1の熱電対および前記第2の熱電対のそれぞれの前記先端が前記試料と接触するよう、前記試料を挟持し、前記第1の熱電対と前記試料とが接する領域以外の前記第1の熱電対と前記第1のブロックとの間の空間、ならびに、前記第2の熱電対と前記試料とが接する領域以外の前記第2の熱電対と前記第2のブロックとの間の空間は、導電性を有する材料で充填されており、前記第1の熱電対は、電圧計に接続されるよう、前記第1のブロックの平面方向の端部から外部へ出ており、前記第2の熱電対は、前記電圧計に接続されるよう、前記第2のブロックの平面方向の端部から外部へ出ている、試料台。

IPC (3件)：

G01N 25/00 , H01L 35/28 , G01R 27/02

FI (3件)：

G01N25/00 B , H01L35/28 C , G01R27/02 R

Fターム (14件)：

2G028AA01 , 2G028CG02 , 2G028CG04 , 2G028DH21 , 2G028FK01 , 2G028HM05 , 2G028HN11 , 2G028HN13 , 2G040AB08 , 2G040AB18 , 2G040BA08 , 2G040CA02 , 2G040DA03 , 2G040EA07

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