特許
J-GLOBAL ID：201703012296285125

載置用部材

発明者：
原田 昌浩

原田 昌浩 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-067724
公開番号（公開出願番号）：特開2017-183470
出願日： 2016年03月30日
公開日（公表日）： 2017年10月05日
要約：
【課題】 反射率が低く、露光精度の更なる向上に対応可能な載置用部材を提供する。【解決手段】 本実施形態の載置用部材は、基板の一方の主面に、載置面を有する突出部を複数備え、酸化アルミニウム質セラミックスからなり、該酸化アルミニウム質セラミックスは、コバルト、鉄、ニッケルおよびチタンの酸化物を含む。前記酸化アルミニウム質セラミックスは、粒界相に、コバルトスピネル、鉄スピネルおよびニッケルスピネルの少なくともいずれかを含む。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板の一方の主面に、載置面を有する突出部を複数備え、酸化アルミニウム質セラミックスからなり、該酸化アルミニウム質セラミックスは、コバルト、鉄、ニッケルおよびチタンの酸化物を含むことを特徴とする載置用部材。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ,  G03F 7/20 ,  C04B 35/10
FI (4件)：
H01L21/68 N ,  G03F7/20 521 ,  G03F7/20 501 ,  C04B35/10 E
Fターム (31件)：
2H197CD02 ,  2H197CD06 ,  2H197HA03 ,  2H197JA02 ,  4G030AA07 ,  4G030AA08 ,  4G030AA16 ,  4G030AA27 ,  4G030AA28 ,  4G030AA29 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030BA18 ,  4G030CA05 ,  4G030CA07 ,  4G030GA04 ,  4G030GA05 ,  4G030GA14 ,  4G030GA22 ,  4G030GA25 ,  4G030GA27 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA32 ,  5F131BA13 ,  5F131CA70 ,  5F131EA02 ,  5F131EB02 ,  5F131EB54 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79
引用特許：
審査官引用 (5件)
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