特許
J-GLOBAL ID：201703012621751553

インプリント装置、および物品の製造方法

発明者：
中川 一樹

中川 一樹 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 高岡 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-121509
公開番号（公開出願番号）：特開2017-055103
出願日： 2016年06月20日
公開日（公表日）： 2017年03月16日
要約：
【課題】インプリント領域にインプリント材を正確に供給するのに有利なインプリント装置を提供する。【解決手段】基板上のインプリント領域にインプリント材を供給する供給部と、インプリント領域に供給されたインプリント材に型を接触させるための駆動を行う駆動部と、気体の流れを形成してインプリント領域を封止する封止部と、を有するインプリント装置であって、供給部は、基板に対向する面を有する部材を含み、気体が流入する流入口と気体が流出する流出口とが面に形成され、流入口と流出口とを接続する流路が部材内に形成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上のインプリント領域にインプリント材を供給する供給部と、前記インプリント領域に供給された前記インプリント材に型を接触させるための駆動を行う駆動部と、気体の流れを形成して前記インプリント領域を封止する封止部と、を有するインプリント装置であって、 前記供給部は、前記基板に対向する面を有する部材を含み、前記気体が流入する流入口と前記気体が流出する流出口とが前記面に形成され、前記流入口と前記流出口とを接続する流路が前記部材内に形成されている、 ことを特徴とするインプリント装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  B29C 59/02 ,  B05D 1/26
FI (4件)：
H01L21/30 502D ,  H01L21/30 564Z ,  B29C59/02 Z ,  B05D1/26 Z
Fターム (22件)：
4D075AC06 ,  4D075AC88 ,  4D075BB57Z ,  4D075DA06 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AJ06 ,  4F209AM30 ,  4F209AR12 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  5F146AA31 ,  5F146JA02 ,  5F146JA27
引用特許：
審査官引用 (5件)
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