紫外線用フィルタ層、紫外線用フィルタ層の形成方法、紫外線用フィルタ、グリッド偏光素子及び偏光光照射装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：保立浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-024089
公開番号（公開出願番号）：特開2017-142386
出願日： 2016年02月10日
公開日（公表日）： 2017年08月17日
要約：

【課題】使用波長の光の損失は少なくしつつオゾン発生波長の光を十分に遮断でき、斜め入射にも対応できるオゾン対策用の実用性の高いフィルタ技術を提供する。【解決手段】透明基板1上に形成されたフィルタ層2は、紫外線透過材料21中に吸収材料22としての酸化ジルコニウム又は酸化タンタルが分散された構造を有し、層の厚さは100μm以下である。層全体に対する吸収材料22の体積混合比をx、層の厚さをyとしたとき、酸化ジルコニウムの場合には24.319x-1.996≦y≦3040.1x-1.953であり、酸化タンタルの場合には6.2213x-1.926≦y≦24.187x-2.068である。全体に対する吸収材料22の体積混合比は0.9以下である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

紫外線透過材料中に酸化ジルコニウムが分散されている紫外線用フィルタ層であって、層の厚さは100μm以下であり、層全体に対する酸化ジルコニウムの体積混合比をx、層の厚さをyとしたとき、 24.319x-1.996≦y≦3040.1x-1.953 の関係となっていることを特徴とする紫外線用フィルタ層。

IPC (4件)：

G02B 5/22 , G02B 5/30 , G02F 1/133 , C23C 14/34

FI (6件)：

G02B5/22 , G02B5/30 , G02F1/1335 500 , G02F1/1335 510 , G02F1/1337 , C23C14/34 C

Fターム (39件)：

2H148CA05 , 2H148CA09 , 2H148CA13 , 2H148CA18 , 2H148CA24 , 2H148CA27 , 2H149AB29 , 2H149BA02 , 2H149BA23 , 2H149FC08 , 2H149FD25 , 2H149FD47 , 2H191FA10X , 2H191FA28X , 2H191FB12 , 2H191FC02 , 2H191FC17 , 2H191FD07 , 2H191GA01 , 2H290BF24 , 2H290BF92 , 2H290CA02 , 2H291FA10X , 2H291FA28X , 2H291FB12 , 2H291FC02 , 2H291FC17 , 2H291FD07 , 2H291GA01 , 4K029AA24 , 4K029BA50 , 4K029BB10 , 4K029BC07 , 4K029CA05 , 4K029CA06 , 4K029DC05 , 4K029DC16 , 4K029EA01 , 4K029JA02

引用特許：

出願人引用 (4件)

紫外線遮蔽膜
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-085459 出願人：国立大学法人東北大学
特開昭63-213253
偏光光照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-145210 出願人：ウシオ電機株式会社

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審査官引用 (4件)

紫外線遮蔽膜
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-085459 出願人：国立大学法人東北大学
特開昭63-213253
偏光光照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-145210 出願人：ウシオ電機株式会社

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