特許
J-GLOBAL ID：201703013060692303
ダイボンダ及びボンディング方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-201728
公開番号（公開出願番号）：特開2014-056978
特許番号：特許第6086680号
出願日： 2012年09月13日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 コレットを保持するコレットホルダと、
先端に該コレットホルダを備え、前記コレットでダイを吸着し基板に前記ダイをボンディングするボンディングヘッドと、
上部に前記コレットと係合する第1の係合部を複数具備する第1の開口部を上部に備え、使用済みの前記コレットを廃棄する廃棄部と、第2の開口部を上部に備え、複数の未使の前記コレットを重畳して設け、未使用の前記コレットの前記第2の開口部へ移動させる移動手段と、未使用の前記コレットの前記第2の開口部からの飛び出しを防ぐ飛出し防止手段とを具備する供給部と、を備えるコレット交換部と、
前記コレットホルダを前記第1の開口部から挿入し、前記係合部と前記コレットホルダとの係合を制御して使用済みの前記コレットを前記廃棄部に廃棄し、前記コレットホルダを前記第2の開口部から挿入し、前記重畳された複数の未使用の前記コレットを取り出し、前記コレットホルダに取り付ける制御装置と、
備えることを特徴とするダイボンダ。
IPC (2件)：
H01L 21/52 ( 200 6.01)
, H01L 21/677 ( 200 6.01)
H01L 21/52 F
, H01L 21/68 B
