特許

J-GLOBAL ID：201703013077078226

ガスセンサデバイス、ガス測定方法及びガス測定装置

発明者： 柄澤 一明 ,  丑込 道雄 ,  百瀬 悟 ,  ▲高▼須 良三 ,  壷井 修
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (3件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦 ,  加藤 隆夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-041476
公開番号（公開出願番号）：特開2017-156280
出願日： 2016年03月03日
公開日（公表日）： 2017年09月07日
要約：

【課題】ガスセンサデバイス、ガス測定方法及びガス測定装置において、高精度にガスを検知することを目的とする。【解決手段】センサ表面を有し、センサ表面へのガスの吸着量の増加に応じて抵抗が増加するセンサ膜と、センサ膜と電気的に接続された第1の電極、第2の電極、及び第3の電極と、第1の電極と第2の電極との間の領域でセンサ表面を覆う保護膜とを備え、第3の電極の近傍では、センサ表面が露出している。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

センサ表面を有し、前記センサ表面へのガスの吸着量の増加に応じて抵抗が増加するセンサ膜と、 前記センサ膜と電気的に接続された第1の電極、第2の電極、及び第3の電極と、 前記第1の電極と前記第2の電極との間の領域で前記センサ表面を覆う保護膜と、 を備え、 前記第3の電極の近傍の領域では、前記センサ表面が露出していることを特徴とする、ガスセンサデバイス。

IPC (2件)：

G01N 27/12 ,  G01N 27/04

FI (2件)：

G01N27/12 B ,  G01N27/04 Z

Fターム (17件)：

2G046AA10 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BF01 ,  2G046BJ01 ,  2G046FE02 ,  2G046FE11 ,  2G060AA01 ,  2G060AB07 ,  2G060AE19 ,  2G060AF07 ,  2G060AG10 ,  2G060BB03 ,  2G060BB04 ,  2G060BB09 ,  2G060JA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ガスセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-289566   出願人：株式会社ミクニ, 大阪瓦斯株式会社
• アルギニン検出方法およびアルギニンセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-146388   出願人：沖電気工業株式会社

審査官引用 (1件)

• ガスセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-289566   出願人：株式会社ミクニ, 大阪瓦斯株式会社