特許
J-GLOBAL ID:201703013191972271

基板収納容器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 正林 真之 ,  林 一好 ,  岩池 満
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-548355
特許番号:特許第6166275号
出願日: 2012年11月20日
請求項(抜粋):
【請求項1】 複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、 前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、 前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、 前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、を備え、 前記蓋体側基板支持部は、柔軟性を発現させて基板を支持し、 前記容器本体の一端部から当該一端部に対する他端部へ向かう方向を奥行き方向といい、前記容器本体の他端部から一端部へ向かう方向を前方向といい、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されている状態の前記容器本体における前記基板収納空間に収納されている基板を閉塞状態基板といい、前記閉塞状態基板の中心を閉塞時中心といい、前記閉塞時中心を通り且つ前記奥行き方向に平行な仮想直線を奥行き方向基準線といい、前記閉塞時中心を通り且つ前記奥行き方向に直交する仮想直線を左右方向基準線という場合に、前記閉塞状態基板を厚さ方向に視たときに、前記奥側基板支持部は、前記奥行き方向基準線を挟んで対をなして設けられ、基板を支持し、 前記閉塞状態基板を厚さ方向に視たときに前記奥側基板支持部が前記左右方向基準線に対して前記奥行き方向へ向けてなす中心角は、20°以上55°以下であり、 前記閉塞状態基板を厚さ方向に視たときに、前記蓋体側基板支持部が前記左右方向基準線に対して前記前方向へ向けてなす中心角は、60°以上85°以下であり、 基板の直径は450mm以上である 基板収納容器。
IPC (2件):
H01L 21/673 ( 200 6.01) ,  B65D 85/86 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01L 21/68 T ,  B65D 85/38 R
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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