特許

J-GLOBAL ID：200903057479518464

基板収納容器

発明者： 新谷 渉 ,  三村 博
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社
代理人 (3件)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-168088
公開番号（公開出願番号）：特開2005-005525
出願日： 2003年06月12日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：

【課題】リテーナに基板が擦れて汚れたり、基板の位置がばらつくのを抑制し、例え連続使用しても、リテーナにクリープ変形が発生したり、基板の位置が変化して出し入れ作業に支障を来たすのを防止できる基板収納容器を提供する。【解決手段】半導体ウェーハWを整列収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体1と、容器本体1に整列収納される半導体ウェーハWの両側部周縁を支持する一対の支持ユニットと、容器本体1の内部背面に装着されて半導体ウェーハWの後端部周縁を支持するリヤリテーナ20とを備える。そして、リヤリテーナ20を、ベース板21に半導体ウェーハWの収納方向と直交する上下方向に並ぶ複数の溝27を設けて形成し、各溝27を断面倒V字形に形成してその傾斜面26付近を肉厚に、半導体ウェーハWを位置決め規制する谷部25付近を弾性変形可能な肉薄にそれぞれ形成する。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

基板収納用の容器本体と、基板の両側部に接触する一対の支持ユニットと、基板に接触するリテーナとを含んでなる基板収納容器であって、 リテーナを、少なくとも基板の収納方向と略直交する方向に並ぶ複数の溝を設けることにより形成し、各溝を断面略V字形に形成してその少なくとも傾斜面付近を肉厚に、谷部付近を弾性変形可能な肉薄にそれぞれ形成したことを特徴とする基板収納容器。

IPC (2件)：

H01L21/68 ,  B65D85/86

FI (2件)：

H01L21/68 T ,  B65D85/38 R

Fターム (47件)：

3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BA20 ,  3E096BB03 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096CA08 ,  3E096CB03 ,  3E096DA03 ,  3E096DA05 ,  3E096DA09 ,  3E096DA10 ,  3E096DA17 ,  3E096DA23 ,  3E096DA25 ,  3E096DB01 ,  3E096DB07 ,  3E096DB08 ,  3E096DC01 ,  3E096DC02 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096EA07X ,  3E096EA07Y ,  3E096FA03 ,  3E096FA09 ,  3E096FA10 ,  3E096FA15 ,  3E096FA16 ,  3E096FA22 ,  3E096FA26 ,  3E096FA30 ,  3E096FA31 ,  3E096GA07 ,  3E096GA11 ,  3E096GA12 ,  3E096GA13 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031DA08 ,  5F031EA02 ,  5F031EA06 ,  5F031EA10 ,  5F031EA14 ,  5F031PA18 ,  5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ウェハーキャリヤ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-216426   出願人：フルオロウェア・インコーポレーテッド
• 特開平3-095954
  
• 精密基板収納容器及びその押さえ部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-161773   出願人：信越ポリマー株式会社, 信越半導体株式会社