特許
J-GLOBAL ID:201703013406423312
圧電センサ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
進藤 素子
, 東口 倫昭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-209639
公開番号(公開出願番号):特開2017-028323
出願日: 2016年10月26日
公開日(公表日): 2017年02月02日
要約:
【課題】 伸縮可能であり、伸長された状態でも使用可能な圧電素子を備える圧電センサを提供する。【解決手段】 圧電センサ1は、エラストマーおよび圧電粒子を含む圧電層11と、エラストマーおよび導電材を含む電極層12a、12bと、圧電層11および電極層12a、12bのうち少なくとも電極層12aに積層される保護層13aと、を有する圧電素子10を備える。電極層12a、12bは、自然状態およびそれから一軸方向に10%伸長した状態に至るまでの伸長状態の体積抵抗率が100Ω・cm以下であり、保護層13aの弾性率は、保護層13aに隣接し一対の電極層12a、12bとその間に介装される圧電層11からなる一組の積層体の合成弾性率よりも小さい。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
エラストマーおよび圧電粒子を含む圧電層と、エラストマーおよび導電材を含む電極層と、該圧電層および該電極層のうち少なくとも該電極層に積層される保護層と、を有する圧電素子を備え、
該電極層は、自然状態およびそれから一軸方向に10%伸長した状態に至るまでの伸長状態の体積抵抗率が100Ω・cm以下であり、
該保護層の弾性率は、該保護層に隣接し一対の該電極層とその間に介装される該圧電層からなる一組の積層体の合成弾性率よりも小さいことを特徴とする圧電センサ。
IPC (4件):
H01L 41/047
, G01L 1/16
, H01L 41/113
, H01L 41/18
FI (5件):
H01L41/047
, G01L1/16 A
, G01L1/16 B
, H01L41/113
, H01L41/18
引用特許: