特許

J-GLOBAL ID：201703013703156080

トリクロロシランの製造方法

発明者： 石川 幸二 ,  堀江 洋慈 ,  岡崎 栄一 ,  和田 雄二 ,  望月 大 ,  藤井 翼
出願人/特許権者： 東亞合成株式会社 ,  国立大学法人東京工業大学
代理人 (3件)： 小島 清路 ,  平岩 康幸 ,  鈴木 勝雅
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2015067624
公開番号（公開出願番号）：WO2016-031362
出願日： 2015年06月18日
公開日（公表日）： 2016年03月03日
要約：

本発明の課題は、エネルギー効率が良好であり、設備・運転コストが低く、製造装置の汚染の懸念がなく、高収率で安定にトリクロロシランを製造する方法を提供することである。本発明のトリクロロシランの製造方法は、マイクロ波の照射により600〜1000°Cに加熱された発熱体を含む系に、テトラクロロシラン及び水素ガスを供給し、トリクロロシランを生成させる工程を備える。

請求項（抜粋）：

マイクロ波の照射により600〜1000°Cに加熱された発熱体を含む系に、テトラクロロシラン及び水素ガスを供給し、トリクロロシランを生成させる工程を備えることを特徴とするトリクロロシランの製造方法。

IPC (1件)：

C01B 33/107

FI (1件)：

C01B33/107 Z

Fターム (13件)：

4G072AA14 ,  4G072GG03 ,  4G072GG04 ,  4G072GG05 ,  4G072HH08 ,  4G072JJ01 ,  4G072LL01 ,  4G072MM01 ,  4G072MM08 ,  4G072MM12 ,  4G072RR04 ,  4G072RR11 ,  4G072RR24