特許
J-GLOBAL ID：201703013837620328
ネオジム磁石の表面コーティング方法及び表面コーティング装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
日高 賢治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-011218
公開番号（公開出願番号）：特開2016-148108
特許番号：特許第6081625号
出願日： 2016年01月25日
公開日（公表日）： 2016年08月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ネオジム磁石の表面コーティング方法であって、
真空室と、前記真空室内に設置された電源極、陰極、陽極を有し、
前記ネオジム磁石を脱脂し、酸洗後、乾燥機に載置して乾燥させ、
前記電源極はプレコート金属ターゲット材料からなり、前記陰極を前記ネオジム磁石として、前記ネオジム磁石の表面と対応する前記電源極の表面とを平行で、かつ5〜200mmの距離に維持し、
前記真空室を3×10-3-9×10-1Paまで真空排気し、その後、前記真空室内に10〜100Paまでアルゴンガスを注入し、
陰極電源をONにして前記ネオジム磁石のグロープラズマ洗浄を行い、洗浄終了後に前記陰極の電圧をOFFにし、
前記電源極の電源をONにして前記電源極の前記ターゲット材料のグロープラズマ洗浄を行い、洗浄終了後に前記電源極の電圧をOFFにし、
前記電源極の電圧と前記陰極の電圧をONにし、前記電源極と前記陰極との電圧差を、前記電源極の電圧が前記陰極の電圧よりも高い状態で0〜500vの差に維持し、
前記ネオジム磁石の表面が所定温度に達した後、前記電源極と前記陰極の電圧増加を停止して温度を安定させ、この状態を一定時間維持して保温し、
前記保温終了後、全ての電源をOFFにしてネオジム磁石を室温まで冷却する、
ことを特徴とするネオジム磁石の表面コーティング方法。
IPC (5件)：
C23C 14/44 ( 200 6.01)
, C23C 14/02 ( 200 6.01)
, C23C 14/16 ( 200 6.01)
, C23C 14/34 ( 200 6.01)
, H01F 41/02 ( 200 6.01)
C23C 14/44
, C23C 14/02 B
, C23C 14/16 D
, C23C 14/34 R
, H01F 41/02 G
