特許
J-GLOBAL ID：201703014001632522
形状測定装置、形状測定方法および形状測定プログラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福島 祥人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-258864
公開番号（公開出願番号）：特開2014-106099
特許番号：特許第6091864号
出願日： 2012年11月27日
公開日（公表日）： 2014年06月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】測定対象物が載置されるステージと、
前記ステージに載置された測定対象物に斜め上方から測定光を照射するように構成される投光部と、
前記ステージの上方に配置され、測定対象物に観察用の照明光を照射するための照明光出力部と、
前記ステージの上方に配置され、前記ステージに載置された測定対象物により反射された測定光を受光し、前記ステージに載置された測定対象物により反射された照明光を受光して、受光量を示す受光信号を出力するように構成される受光部と、
前記受光部により出力される測定光の受光信号に基づいて、三角測距方式により測定対象物の立体形状を示す立体形状データを生成し、照明光の受光信号に基づいて、測定対象物の表面状態を示すテクスチャ画像データを生成するように構成されるデータ生成部と、
前記データ生成部により生成されたテクスチャ画像データに基づくテクスチャ画像を表示する表示部と、
前記表示部に表示されたテクスチャ画像上の任意の位置を指定するために使用者により操作される操作部と、
合焦点動作時に、少なくとも前記操作部により指定された位置に対応する測定対象物の部分に測定光を照射するように前記投光部を制御し、前記受光部により出力される測定光の受光信号に基づいて、指定された位置に対応する測定対象物の部分の高さを算出する高さ算出部と、
前記合焦点動作時に、前記高さ算出部により算出された高さに前記受光部の焦点が一致するように前記受光部と前記ステージとの相対的な距離を変化させる相対距離変化部と、
形状測定時に、前記高さ算出部により算出された高さに前記受光部の焦点が位置する状態で測定対象物に測定光を照射するように前記投光部を制御するとともに、前記受光部により出力される測定光の受光信号に基づいて、三角測距方式により測定対象物の立体形状を示す前記立体形状データを生成するように前記データ生成部を制御する制御部とを備える、形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (8件)
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