特許

J-GLOBAL ID：201703014186085816

固定構造、基板搬送装置、基板処理装置、及び固定構造の高さ調整方法

発明者： 黒木 佑輔
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (5件)： 棚井 澄雄 ,  松沼 泰史 ,  清水 雄一郎 ,  高橋 久典 ,  齋藤 崇暢
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-096154
公開番号（公開出願番号）：特開2017-204584
出願日： 2016年05月12日
公開日（公表日）： 2017年11月16日
要約：

【課題】シム等の調整用部材を別途用意することなくベース部材に対する取付部材の取り付け高さを微調整することができる固定構造、基板搬送装置、基板処理装置、及び固定構造の高さ調整方法の提供。【解決手段】一実施形態に係る固定構造80は、ベース部材61と、ベース部材61に取り付けられる取付部材71と、取付部材71のベース部材61に対する取り付け高さを調整する高さ調整機構90と、高さ調整機構90によって高さが調整された取付部材71をベース部材61に固定する固定機構100と、を備え、高さ調整機構90は、取付部材71に対し出没自在に設けられた複数のネジ調整部91を備える。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

ベース部材と、 前記ベース部材に取り付けられる取付部材と、 前記取付部材の前記ベース部材に対する取り付け高さを調整する高さ調整機構と、 前記高さ調整機構によって高さが調整された前記取付部材を前記ベース部材に固定する固定機構と、を備え、 前記高さ調整機構は、前記取付部材に対し出没自在に設けられた複数のネジ調整部を備える、ことを特徴とする固定構造。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ,  H01L 21/304

FI (2件)：

H01L21/68 A ,  H01L21/304 621D

Fターム (23件)：

5F057AA31 ,  5F057BA11 ,  5F057BB03 ,  5F057CA12 ,  5F057DA03 ,  5F057FA32 ,  5F057FA37 ,  5F131AA02 ,  5F131BA33 ,  5F131BB03 ,  5F131CA45 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA35 ,  5F131DA42 ,  5F131DB02 ,  5F131DB52 ,  5F131DB62 ,  5F131DB72 ,  5F131DC26 ,  5F131FA10 ,  5F131FA37 ,  5F131FA39

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板保持装置、露光装置、デバイス製造方法、及び基板保持装置の調整方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-205813   出願人：株式会社ニコン
• 特開平1-216107