特許
J-GLOBAL ID：201703014674739973
複数種類の気体を用いることができる、適応的な圧力無感応性のマスフローコントローラ及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
河野 英仁
, 河野 登夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-547243
特許番号：特許第6112119号
出願日： 2012年11月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 マスフローコントローラを用いて流体の質量流量を制御する方法において、
圧力センサにより生成された前記流体の圧力測定値を受け付け、
前記流体の圧力変化率が閾条件を満たしていることに応答して、流量の測定値と流量の設定値との間の差異に基づいて前記マスフローコントローラの弁を制御するフィードバック制御ループを休止させ、
前記フィードバック制御ループが休止したときの圧力測定値と、前記マスフローコントローラにおける流量、圧力及び弁位置の間の応答特性を表す特性データとに基づいて、前記弁の弁位置を計算し、
ある期間の経過後、又は前記閾条件が再度満たされた後、流量の測定値が飽和していない場合に、前記フィードバック制御ループを再動作させ、
前記フィードバック制御ループが最初に再動作したときに、流量の測定値と流量の設定値との差異を決定し、
前記フィードバック制御ループが再度休止したときの前記弁位置の計算の正確さを向上させるために、前記差異に基づいて前記特性データの調整を行うこと
を特徴とする方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特許第7640078号
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流量制御装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2006-312770
出願人：日立金属株式会社
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