特許

J-GLOBAL ID：201703015053186217

圧電体薄膜及びそれを用いた圧電素子

発明者： 柳谷 隆彦 ,  鈴木 雅視
出願人/特許権者： 学校法人早稲田大学
代理人 (1件)： 特許業務法人京都国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-092976
公開番号（公開出願番号）：特開2017-201050
出願日： 2016年05月06日
公開日（公表日）： 2017年11月09日
要約：

【課題】電気機械結合係数が大きく、それにより広い周波数帯域幅で使用することができる圧電体薄膜を提供する。【解決手段】本発明に係る圧電体薄膜は、組成式Al1-xYbxNで表され、xの値が0.10以上0.27以下である圧電体材料から成る。この圧電体薄膜は、従来のAlN(上記組成式でx=0)から成る圧電体薄膜と比較して、電気機械結合係数が大きい。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

組成式Al1-xYbxNで表され、xの値が0.10以上0.27以下である圧電体材料から成る薄膜であることを特徴とする圧電体薄膜。

IPC (7件)：

C23C 14/06 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/107 ,  H01L 41/113 ,  H04R 17/00 ,  H02N 2/00

FI (7件)：

C23C14/06 A ,  H01L41/187 ,  H01L41/09 ,  H01L41/107 ,  H01L41/113 ,  H04R17/00 330A ,  H02N2/00

Fターム (21件)：

4K029AA08 ,  4K029AA24 ,  4K029BA58 ,  4K029CA06 ,  4K029CA08 ,  4K029DC03 ,  4K029DC15 ,  4K029DC35 ,  4K029DC39 ,  4K029JA01 ,  5D019BB01 ,  5D019BB12 ,  5H681AA06 ,  5H681BB01 ,  5H681BB08 ,  5H681DD23 ,  5H681DD39 ,  5H681FF17 ,  5H681FF32 ,  5H681GG01 ,  5H681GG43