照明光学系、照明方法、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口孝雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-223639
公開番号（公開出願番号）：特開2013-084958
特許番号：特許第6103467号
出願日： 2012年10月05日
公開日（公表日）： 2013年05月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光源からの照明光で照明瞳を介して被照射面を照明する照明光学系において、前記光源からの照明光の強度分布を均一にする第1光学系と、前記第1光学系からの強度分布が均一化された照明光の少なくとも一部の偏光状態を変える偏光部と、前記偏光部からの照明光を反射する複数の反射面を有し、前記複数の反射面を個別に制御して前記照明瞳に照明光を分布させる第2光学系と、前記第1光学系から前記偏光部へ向かう光の角度を検出するビーム検出系と、を備える照明光学系。

IPC (1件)：