特許

J-GLOBAL ID：201703016071084819

逆光電子分光装置

発明者： 吉田 弘幸
出願人/特許権者： 国立研究開発法人科学技術振興機構
代理人 (3件)： 山田 卓二 ,  田中 光雄 ,  中野 晴夫
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2015065197
公開番号（公開出願番号）：WO2015-182641
出願日： 2015年05月27日
公開日（公表日）： 2015年12月03日
要約：

逆光電子分光装置1は、試料40に低エネルギの電子線を照射し、試料40内の電子が空準位に緩和するときに発生する光を検出する。逆光電子分光装置1は、試料40に照射する電子を発生させる電子発生部10と、試料40により発生した光のうち、特定の波長を有する光を選択する波長選択部90と、波長選択部90により選択された光を検出する光検出器100と、試料40と光検出器100との間に配置された集光光学系80とを備える。電子発生部10は、熱電子放出材料として酸化イットリウムを含む。

請求項（抜粋）：

試料に電子線を照射し、試料内の電子が空準位に緩和するときに発生する光を検出する逆光電子分光装置であって、 試料に照射する電子を発生させる電子発生部と、 試料により発生した光のうち、特定の波長を有する光を選択する波長選択部と、 波長選択部により選択された光を検出する光検出器と、 試料と光検出器との間に配置された集光光学系とを備え、 電子発生部は、熱電子放出材料として酸化イットリウムを含む ことを特徴とする逆光電子分光装置。

IPC (3件)：

G01N 21/62 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/252

FI (3件)：

G01N21/62 A ,  H01J37/244 ,  H01J37/252 Z

Fターム (12件)：

2G043AA01 ,  2G043EA06 ,  2G043HA01 ,  2G043JA03 ,  2G043KA01 ,  2G043KA02 ,  2G043KA03 ,  2G043LA01 ,  2G043LA02 ,  2G043LA03 ,  5C033NN10 ,  5C033RR10