特許
J-GLOBAL ID：201703016108346185
基板処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
稲岡 耕作
, 川崎 実夫
, 安田 昌秀
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-146871
公開番号（公開出願番号）：特開2015-019024
特許番号：特許第6143589号
出願日： 2013年07月12日
公開日（公表日）： 2015年01月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板の表面または裏面に押し付けられる弾性変形可能な柱状のブラシと、
前記ブラシに洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
前記ブラシの中心線に直交する長手方向の長さが前記ブラシの外径以上であり、前記ブラシの中心線と前記長手方向とに直交する幅方向の長さが前記ブラシの外径よりも小さい洗浄バーと、
前記ブラシと前記洗浄バーとを相対移動させる相対移動手段と、
前記相対移動手段を制御することにより、前記ブラシが前記洗浄バーの外周面に押し付けられた状態で前記ブラシと前記洗浄バーとを相対移動させる制御手段とを含み、
前記洗浄バーは、前記洗浄バーの外周面で開口しており、前記ブラシに向けて洗浄液を吐出する洗浄液吐出口と、前記洗浄液吐出口に洗浄液を導く内部流路と、を含む筒状であり、
前記洗浄液供給手段は、前記内部流路に洗浄液を供給する洗浄液配管を含む、基板処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 ( 200 6.01)
, B08B 1/04 ( 200 6.01)
H01L 21/304 644 Z
, H01L 21/304 644 C
, B08B 1/04
