感光性樹脂組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次 , 中村和広 , 齋藤都子 , 三間俊介 , 塩川和哉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-218646
公開番号（公開出願番号）：特開2014-071374
特許番号：特許第6073626号
出願日： 2012年09月28日
公開日（公表日）： 2014年04月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 (A)アルカリ可溶性樹脂100質量部; (B)光酸発生剤1〜50質量部;及び (C)下記一般式(1): (式中、R1及びR2は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜10の1価の有機基を示し;かつ、nの平均値は0以上5.0以下であるが、nの平均値が0の場合、R1及びR2は同時に水素原子になることはない) で表されるサリチル酸オリゴマー又はその混合物0.1〜10質量部を含む、ポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (1件)：