特許
J-GLOBAL ID：201703016167653148
銅腐食防止剤
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
廣幸 正樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-027596
公開番号（公開出願番号）：特開2014-156630
特許番号：特許第6128375号
出願日： 2013年02月15日
公開日（公表日）： 2014年08月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 1〜9質量%の三級アルカノールアミンと、
10〜70質量%の極性溶媒と、
10〜40質量%の水からなる混合液と、
フォトレジスト成分と、
アゾール系銅防食剤を有し、
前記フォトレジスト成分は、感光処理したポジ型フォトレジストであることを特徴とする銅腐食防止剤。
IPC (1件)：
FI (2件)：
C23F 11/00 B
, C23F 11/00 D
