特許

J-GLOBAL ID：201703016227311861

洗浄装置および洗浄方法

発明者： 柳川 敬太
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-017660
公開番号（公開出願番号）：特開2017-136533
出願日： 2016年02月02日
公開日（公表日）： 2017年08月10日
要約：

【課題】被処理物に付着した汚れを広範囲に洗浄することの可能な洗浄装置を提供する。【解決手段】洗浄装置1は、搬送コンベア35、処理槽31、インジェクタ23および冷却管34を備える。被処理物4は、搬送コンベア35により処理槽31内を搬送される。インジェクタ23は、その処理槽31を搬送される被処理物4に向けて、液体のカーボネート類を微粒化して噴射する。冷却管34は、インジェクタ23により噴射されたカーボネート類が被処理物4に衝突する処理槽31内の保冷空気層B1を、カーボネート類の凝固点より低い温度に冷却する。これにより、インジェクタ23から微粒化された状態で噴射されたカーボネート類は保冷空気層B1で冷却されて凝固し、その一部または全部が固体の状態で被処理物4に衝突する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被処理物(4)を搬送する搬送部(35)と、 前記搬送部により搬送される前記被処理物が通過する処理槽(31)と、 前記処理槽を通過する前記被処理物に向けて、液体の洗浄媒体を微粒化して噴射する噴射手段(23)と、 前記噴射手段により噴射された洗浄媒体が前記被処理物に衝突する箇所の前記処理槽内の空間を、洗浄媒体の凝固点より低い温度に冷却する冷却手段(34)と、を備える洗浄装置。

IPC (3件)：

B08B 7/00 ,  B08B 3/02 ,  B08B 3/08

FI (3件)：

B08B7/00 ,  B08B3/02 A ,  B08B3/08 A

Fターム (28件)：

3B116AA47 ,  3B116AB03 ,  3B116BA06 ,  3B116BB22 ,  3B116BB32 ,  3B116BB62 ,  3B116BB82 ,  3B116BB90 ,  3B116CC01 ,  3B116CD22 ,  3B116CD32 ,  3B116CD43 ,  3B201AA47 ,  3B201AB02 ,  3B201BA06 ,  3B201BB22 ,  3B201BB32 ,  3B201BB62 ,  3B201BB82 ,  3B201BB90 ,  3B201BB92 ,  3B201BB95 ,  3B201CB25 ,  3B201CC01 ,  3B201CD11 ,  3B201CD22 ,  3B201CD32 ,  3B201CD43

引用特許：

審査官引用 (2件)

• アイスショット(表面加工・剥離)装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-037682   出願人：梅田裕
• 基板処理方法および基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-038190   出願人：大日本スクリーン製造株式会社