特許

J-GLOBAL ID：201703016364845199

寿命が長いテクスチャ加工チャンバ部品及びその作製方法

発明者： ジャクソン マイケル ,  ボイド ウェンデル ジー ジュニア ,  スー ティオン カイ ,  ル ウィリアム ミン-イェ ,  吉留 剛一 ,  ソマーズ ジョセフ エフ
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (6件)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之 ,  上杉 浩
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-505204
特許番号：特許第6096756号
出願日： 2012年04月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 堆積膜の保持力を高めるようにパターン化された表面を有する物品であって、 複数の工学的特徴部として形成されたマクロテクスチャ加工された表面を有する処理チャンバ部品を含み、前記工学的特徴部は壁部によって分離され、かつ、前記テクスチャ加工された表面にわたって見通し面を遮るように千鳥状に配置されている、ことを特徴とする物品。

IPC (5件)：

H01L 21/203 ( 200 6.01) ,  H01L 21/02 ( 200 6.01) ,  C23C 14/00 ( 200 6.01) ,  C23C 16/44 ( 200 6.01) ,  H01L 21/205 ( 200 6.01)

FI (5件)：

H01L 21/203 Z ,  H01L 21/02 D ,  C23C 14/00 B ,  C23C 16/44 J ,  H01L 21/205

引用特許：

出願人引用 (6件)

• 成膜装置用部品およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-227751   出願人：真空冶金株式会社
• 特許第6623595号
  
• 薄膜形成装置用部材及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-113361   出願人：株式会社日鉱マテリアルズ
• 特許第6506312号
  
• ECRプラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-306666   出願人：ソニー株式会社
• 特開平4-202660
  

審査官引用 (9件)

• 成膜装置用部品およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-227751   出願人：真空冶金株式会社
• 特許第6623595号
  
• 薄膜形成装置用部材及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-113361   出願人：株式会社日鉱マテリアルズ
• 特許第6506312号
  
• ECRプラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-306666   出願人：ソニー株式会社
• 特開平4-202660
  
• 特許第6623595号
  
• 特許第6506312号
  
• 特開平4-202660