特許
J-GLOBAL ID:201703016382948914
固体撮像装置及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人第一国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-054687
公開番号(公開出願番号):特開2017-168757
出願日: 2016年03月18日
公開日(公表日): 2017年09月21日
要約:
【課題】 画素の微細化の進展に合せ、カラーフィルタ層の微細化及び薄膜化を、混色や形状バラツキといった問題無く、且つ低欠陥で実現したカラーフィルタを有する固体撮像装置を提供するものである。【解決手段】 複数の画素が格子状パターンで集積されてなる固体撮像装置であって、少なくとも半導体基板に前記画素ごとに区分して形成された光電変換部と、前記半導体基板に形成され、光電変換部の上方に格子状パターンで形成されたカラーフィルタセル(14a)とを有し、カラーフィルタセルの下側面において、格子状パターンの周辺部または四隅に、段差部(21)によって、欠落部が設けられている。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
基板上に格子状に配列された光電変換部と、
前記光電変換部の上方に配置され、上面が平坦であり、かつ、下面付近の周辺部に欠落部を有するカラーフィルタセルと、
を備えた固体撮像装置。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L27/14 D
, G02B5/20 101
Fターム (22件):
2H148BC65
, 2H148BD05
, 2H148BD08
, 2H148BD11
, 2H148BE32
, 2H148BG11
, 2H148BH02
, 2H148BH04
, 2H148BH15
, 4M118AA05
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118BA14
, 4M118CA02
, 4M118FA06
, 4M118GB03
, 4M118GB11
, 4M118GC08
, 4M118GC14
, 4M118GC17
, 4M118GD04
引用特許: