特許

J-GLOBAL ID：201703016715905223

半導体装置

発明者： 舛岡 富士雄 ,  浅野 正通
出願人/特許権者： ユニサンティス エレクトロニクス シンガポール プライベート リミテッド
代理人 (6件)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之 ,  上杉 浩
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013071527
公開番号（公開出願番号）：WO2015-019470
出願日： 2013年08月08日
公開日（公表日）： 2015年02月12日
要約：

縦型トランジスタであるSurrounding Gate Transistor(SGT)を用いて、CMOS3入力NOR回路を構成する半導体装置を小さい面積で提供する。 1列に配置された6個のMOSトランジスタを用いて構成された3入力NOR回路において、前記NOR回路を構成するMOSトランジスタは、基板上に形成された平面状シリコン層上に形成され、ドレイン、ゲート、ソースが垂直方向に配置され、ゲートがシリコン柱を取り囲む構造を有し、前記平面状シリコン層は第1の導電型を持つ第1の活性化領域と第2の導電型を持つ第2の活性化領域からなり、それらが平面状シリコン層表面に形成されたシリコン層を通して互いに接続されることにより小さい面積のNOR回路を構成する半導体装置を提供する。

請求項（抜粋）：

ソース、ドレイン及びゲートが、基板と垂直な方向に階層的に配置される6つのトランジスタを、基板上に1列に配列することによりNOR回路を構成する半導体装置であって、 前記各トランジスタは、 シリコン柱と、 前記シリコン柱の側面を取り囲む絶縁体と、 前記絶縁体を囲むゲートと、 前記シリコン柱の上部又は下部に配置されるソース領域と、 前記シリコン柱の上部又は下部に配置されるドレイン領域であって、前記シリコン柱に対して前記ソース領域と反対側に配置されるドレイン領域とを備え、 前記6つのトランジスタは、 第1のNチャネルMOSトランジスタと、 第2のNチャネルMOSトランジスタと、 第3のNチャネルMOSトランジスタと、 第1のPチャネルMOSトランジスタと、 第2のPチャネルMOSトランジスタと、 第3のPチャネルMOSトランジスタと で構成され、 前記第1のNチャネルMOSトランジスタと前記第1のPチャネルMOSトランジスタのゲートは互いに接続されており、 前記第2のNチャネルMOSトランジスタと前記第2のPチャネルMOSトランジスタのゲートは互いに接続されており、 前記第3のNチャネルMOSトランジスタと前記第3のPチャネルMOSトランジスタのゲートは互いに接続されており、 前記第1のNチャネルMOSトランジスタ、前記第2のNチャネルMOSトランジスタ、前記第3のNチャネルMOSトランジスタ、前記第1のPチャネルMOSトランジスタ及び前記第3のPチャネルMOSトランジスタのドレイン領域は、シリコン柱より基板側に配置されており、 前記第2のPチャネルMOSトランジスタのソース領域は、シリコン柱より基板側に配置されており、 前記第1のNチャネルMOSトランジスタ、前記第2のNチャネルMOSトランジスタ、前記第3のNチャネルMOSトランジスタ及び前記第1のPチャネルMOSトランジスタのドレイン領域は、互いにシリサイド領域を介して接続されており、 前記第1のPチャネルMOSトランジスタのソース領域は、前記第2のPチャネルMOSトランジスタのドレイン領域とコンタクトを介して接続されており、 前記第2のPチャネルMOSトランジスタのソース領域は前記第3のPチャネルMOSトランジスタのドレイン領域と互いにシリサイド領域を介して接続されていることを特徴とする半導体装置。

IPC (8件)：

H01L 21/823 ,  H01L 27/092 ,  H01L 27/08 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/04 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/78

FI (8件)：

H01L27/08 321G ,  H01L27/08 331E ,  H01L27/04 D ,  H01L29/78 613A ,  H01L29/78 626A ,  H01L29/78 617K ,  H01L27/08 321K ,  H01L29/78 301X

Fターム (49件)：

5F038CA02 ,  5F038CD02 ,  5F038CD12 ,  5F038CD13 ,  5F038EZ20 ,  5F048AA01 ,  5F048AB03 ,  5F048AC04 ,  5F048BA01 ,  5F048BA16 ,  5F048BB01 ,  5F048BC03 ,  5F048BC18 ,  5F048BD04 ,  5F048BD07 ,  5F048BE08 ,  5F048BE09 ,  5F048BF06 ,  5F048BF11 ,  5F048BF12 ,  5F048BF15 ,  5F048BF16 ,  5F048BF17 ,  5F048BF18 ,  5F048BG13 ,  5F048CB07 ,  5F110AA04 ,  5F110BB04 ,  5F110CC09 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110EE22 ,  5F110EE24 ,  5F110GG02 ,  5F110GG12 ,  5F110GG22 ,  5F110GG23 ,  5F110HJ13 ,  5F110HK05 ,  5F110HM02 ,  5F110HM12 ,  5F110NN62 ,  5F140AA39 ,  5F140AB03 ,  5F140BA01 ,  5F140BB04 ,  5F140BF54 ,  5F140BJ01 ,  5F140BJ08