特許
J-GLOBAL ID：201703016887227472

円筒形ターゲットの製造方法及びその製造方法に用いる粉末焼結用モールド

発明者：
長尾 昌芳

長尾 昌芳 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-123195
公開番号（公開出願番号）：特開2017-057493
出願日： 2016年06月22日
公開日（公表日）： 2017年03月23日
要約：
【課題】焼結後の冷却時における円筒形ターゲットの割れやクラック等の発生を防止する。【解決手段】筒状に形成されたスリーブと、該スリーブ内部の中央に配置された芯棒と、前記スリーブと前記芯棒とにより形成されるリング状の空間部に挿入可能に設けられたパンチとを備える粉末焼結用モールドを用い、原料粉末を前記空間部内に投入して前記パンチで前記スリーブの軸方向に押圧した状態で加熱することにより焼結させ、焼結後に冷却する円筒形ターゲットの製造方法であって、前記原料粉末の焼結後に該原料粉末の焼結体への前記パンチによる押圧を解除するとともに前記芯棒を引き抜き、該芯棒が引き抜かれた状態で前記焼結体の冷却を完了させる。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
筒状に形成されたスリーブと、該スリーブ内部の中央に配置された芯棒と、前記スリーブと前記芯棒とにより形成されるリング状の空間部に挿入可能に設けられたパンチとを備える粉末焼結用モールドを用い、原料粉末を前記空間部内に投入して前記パンチで前記スリーブの軸方向に押圧した状態で加熱することにより焼結させ、焼結後に冷却する円筒形ターゲットの製造方法であって、 前記原料粉末の焼結後に該原料粉末の焼結体への前記パンチによる押圧を解除するとともに前記芯棒を引き抜き、該芯棒が引き抜かれた状態で前記焼結体の冷却を完了させることを特徴とする円筒形ターゲットの製造方法。
IPC (3件)：
C23C 14/34 ,  B28B 3/00 ,  B22F 3/14
FI (5件)：
C23C14/34 B ,  C23C14/34 C ,  B28B3/00 C ,  B22F3/14 C ,  B22F3/14 B
Fターム (13件)：
4G054AA05 ,  4G054AB01 ,  4G054BA49 ,  4G054BE15 ,  4K018EA02 ,  4K018EA03 ,  4K018HA03 ,  4K018KA29 ,  4K018KA63 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029DC13
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM