校正治具および光干渉測定装置の校正方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人森本国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-116550
公開番号（公開出願番号）：特開2014-235074
特許番号：特許第6119981号
出願日： 2013年06月03日
公開日（公表日）： 2014年12月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】上面部と、前記上面部に設けられる2つの円錐状の窪みの底にそれぞれ設けられる頂点と、前記上面部に設けられる凹部とを有し、前記上面部の平面視において、2つの前記頂点を結ぶ直線上に前記凹部の開口と底面とが位置し、かつ、当該平面視において前記頂点が見えるように前記窪みがそれぞれ設けられていることを特徴とする校正治具。

IPC (2件)：