特許

J-GLOBAL ID：201703017046811206

加熱部材及び複合加熱部材

発明者： 三輪 要
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 名古屋国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-083941
公開番号（公開出願番号）：特開2017-195060
出願日： 2016年04月19日
公開日（公表日）： 2017年10月26日
要約：

【課題】フォーカスリング用いる場合に、被加工物に汚染物質が付着することを好適に抑制できる加熱部材及び複合加熱部材を提供すること。【解決手段】静電チャック1は、外周加熱部材7の外周セラミックヒータ19の内部には、内側発熱体55と外側発熱体57とが配置されており、平面視で、内側発熱体55と外側発熱体57との間には溝状の断熱部59が設けられている。この断熱部59は、外周セラミックヒータ19の搭載面(第1主面A2)から両発熱体55、57を分離する位置にまで形成されている。よって、各発熱体55、57の温度を異なるように調節した場合には、外周セラミックヒータ19の搭載面側の温度を、内周側と外周側とで容易に異なるように制御することができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

環状のセラミック基板と、該セラミック基板の周方向に沿って配置された、通電により発熱する発熱部と、を備えるとともに、 前記セラミック基板の厚み方向の一方に、プラズマ加工の際に用いられるフォーカスリングを搭載する搭載面を有する、環状の加熱部材において、 前記発熱部は、前記セラミック基板の内部及び前記搭載面と反対側の表面の少なくとも一方に配置されるとともに、前記加熱部材の内周側から外周側に沿って配置されて個別に温度調節が可能な複数の発熱体からなり、 前記セラミック基板には、平面視での前記複数の発熱体の間に、前記セラミック基板よりも断熱性の高い断熱部を備え、 前記断熱部の少なくとも一部は、前記複数の発熱体よりも前記搭載面側に設けられることを特徴とする加熱部材。

IPC (3件)：

H05B 3/10 ,  H05B 3/74 ,  H05B 3/03

FI (3件)：

H05B3/10 A ,  H05B3/74 ,  H05B3/03

Fターム (9件)：

3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB26 ,  3K092QB30 ,  3K092QB44 ,  3K092RF17 ,  3K092RF27 ,  3K092VV40

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-217026   出願人：日本特殊陶業株式会社
• 載置台及びプラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-016703   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-002251   出願人：東京エレクトロン株式会社