被加工物のエッチング方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松本昂
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-073671
公開番号（公開出願番号）：特開2014-199833
特許番号：特許第6161365号
出願日： 2013年03月29日
公開日（公表日）： 2014年10月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】エッチング領域と非エッチング領域とを備えた被加工物のエッチング方法であって、被加工物の非エッチング領域に対応した開口を有する被加工物を被覆可能なマスクを準備するマスク準備ステップと、該マスクの該開口と被加工物の該非エッチング領域とを一致させた状態で該マスクを被加工物上に載置して、被加工物の該エッチング領域を該マスクで被覆するとともに該非エッチング領域は露出させるマスク載置ステップと、該マスクが載置された被加工物上に該マスクを介して保護膜剤を塗付し、被加工物の該非エッチング領域上に保護膜を形成する保護膜形成ステップと、該非エッチング領域上に該保護膜が形成された被加工物上から該マスクを除去するマスク除去ステップと、該マスク除去ステップを実施した後、被加工物にエッチングを施して被加工物の該エッチング領域をエッチングするエッチングステップと、を備え、該マスクは、被加工物と同一の熱膨張率を有する材質から構成されることを特徴とする被加工物のエッチング方法。

IPC (2件)：

H01L 21/3065 ( 200 6.01) , H01L 21/301 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/302 105 A , H01L 21/78 S

引用特許：

出願人引用 (2件)

ペースト及び耐プラズマ部材
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-017662 出願人：コバレントマテリアル株式会社
マスク蒸着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-236628 出願人：日本ビクター株式会社

審査官引用 (2件)

ペースト及び耐プラズマ部材
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-017662 出願人：コバレントマテリアル株式会社
マスク蒸着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-236628 出願人：日本ビクター株式会社

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