直線変位測定装置のスケール保持構造

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：米田耕一郎 , 鈴木征四郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-084378
公開番号（公開出願番号）：特開2017-194338
出願日： 2016年04月20日
公開日（公表日）： 2017年10月26日
要約：

【課題】長尺でありながらも、温度保障範囲が広く、かつ、高い精度保障もできる直線変位測定装置を提供する。【解決手段】スケール部は、長手状のスケールと、スケールを収容するスケールホルダと、を備え、スケールは、スケールホルダの内部において、スケールホルダに形成されたスケール保持用の溝に嵌め込まれた状態で保持されている。支持部材が、スケールホルダの内壁とスケールとの間に配置されている。支持部材は、スケールホルダの内壁とスケールとの間に配置された平行板バネで構成され、スケールの測長方向の変位を許容する脚部と、スケールの側面をスケール保持溝に向けて付勢するアーム部と、を有する。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

長手状のスケール部と、スケール部に対して相対的にスライド移動可能に設けられたスライダと、を備え、前記スケール部に対する前記スライダの相対変位量あるいは相対位置を検出する直線変位測定装置であって、前記スケール部は、長手状のスケールと、前記スケールを収容するスケールホルダと、を備え、前記スケールは、前記スケールホルダの内部において、前記スケールホルダに形成されたスケール保持用のスケール保持溝に嵌め込まれた状態で保持されており、さらに、前記スケールホルダの内壁とスケールとの間に配置され、前記スケールを前記スケール保持溝に押し付ける支持部材を備え、前記支持部材は、前記スケールホルダの内壁と前記スケールとの間に配置された平行板バネで構成され、前記スケールの測長方向の変位を許容する脚部と、前記スケールの側面を前記スケール保持溝に向けて付勢するアーム部と、を有することを特徴とする直線変位測定装置。

IPC (2件)：

G01B 21/00 , G01D 5/34

FI (2件)：

G01B21/00 L , G01D5/34 Z

Fターム (10件)：

2F069AA02 , 2F069AA06 , 2F069DD30 , 2F069EE02 , 2F069GG04 , 2F069GG11 , 2F069GG62 , 2F069HH14 , 2F103GA01 , 2F103GA15

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭62-282212
搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-234061 出願人：シャープ株式会社
保持装置、露光装置及びデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-284530 出願人：キヤノン株式会社

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審査官引用 (5件)

特開昭62-282212
搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-234061 出願人：シャープ株式会社
保持装置、露光装置及びデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-284530 出願人：キヤノン株式会社

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