特許
J-GLOBAL ID：201703017840280711

加工装置

発明者：
増田 幸容

増田 幸容 について

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九鬼 潤一

九鬼 潤一 について

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三瓶 貴士

三瓶 貴士 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-203514
公開番号（公開出願番号）：特開2014-060224
特許番号：特許第6204008号
出願日： 2012年09月14日
公開日（公表日）： 2014年04月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 円形を呈するウエーハを保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウエーハに加工を施す加工手段と、該保持手段と該加工手段とを加工送り方向に相対的に加工送りする加工送り手段と、を具備する加工装置において、 該保持手段は、多孔性部材によって形成されたウエーハを吸引保持する円形の吸着チャックと、上面に円形の嵌合凹部が形成され該嵌合凹部の底面外周部に環状の載置棚が設けられ、該吸着チャックが該載置棚に載置されると共に該嵌合凹部に嵌合されることにより該吸着チャックを囲繞する外周部とを有するテーブルと、該テーブルを回転する回転駆動機構とを備え、 該テーブルに保持されたウエーハの外周部を撮像する撮像手段と、 該テーブルを挟んで該撮像手段と対向して配設された発光手段と、 該テーブルの該外周部に形成され該発光手段が発する光を透過して該吸着チャックに保持されたウエーハの外周を該撮像手段に投影する投影手段と、 該回転駆動機構を作動して該テーブルを回転させながら該投影手段を介して該撮像手段によって撮像された該テーブルに保持されたウエーハの外周の少なくとも3個所の座標値に基づいて該テーブルに保持されたウエーハの中心位置を算出する制御手段と、を具備しており、 該投影手段は、該テーブルの該外周部と該吸着チャックとの境界部に形成された3個以上の貫通孔からなることを特徴とする加工装置。
IPC (4件)：
H01L 21/301 ( 200 6.01) ,  B24B 41/06 ( 201 2.01) ,  H01L 21/68 ( 200 6.01) ,  H01L 21/683 ( 200 6.01)
FI (5件)：
H01L 21/78 F ,  H01L 21/78 B ,  B24B 41/06 L ,  H01L 21/68 F ,  H01L 21/68 P
引用特許：
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (13件)
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