特許
J-GLOBAL ID：201703017848096863
表面に多数のナノ金属体を転写した構造体の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-138702
公開番号（公開出願番号）：特開2015-009348
特許番号：特許第6115953号
出願日： 2013年07月02日
公開日（公表日）： 2015年01月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板表面に親油性ポリマーセグメントと疎油性ポリマーセグメントとを有するブロック共重合体自己組織化薄膜を形成し、1〜3の炭素原子を有し沸点が100°C以下の低沸点極性有機溶媒の存在下で、該薄膜上にナノ構造を有するスタンプに蒸着されたナノ金属体を転写することを特徴とする表面に多数のナノ金属体を転写した構造体の製造方法。
IPC (7件)：
B82B 3/00 ( 200 6.01)
, B82Y 40/00 ( 201 1.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
, H01L 21/28 ( 200 6.01)
, H01L 21/285 ( 200 6.01)
, H01L 31/06 ( 201 2.01)
, H01B 13/00 ( 200 6.01)
B82B 3/00
, B82Y 40/00
, H01L 21/30 502 D
, H01L 21/28 ZNM A
, H01L 21/285 Z
, H01L 31/06
, H01B 13/00 503 D
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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