特許
J-GLOBAL ID:201703017957594628
磁気センサ素子及び磁気センサ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
棚井 澄雄
, 飯田 雅人
, 及川 周
, 齋藤 崇暢
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-079870
公開番号(公開出願番号):特開2017-191841
出願日: 2016年04月12日
公開日(公表日): 2017年10月19日
要約:
【課題】微弱な磁場変化を検出できる磁気センサ素子を提供することを目的とする。【解決手段】本実施形態にかかる磁気センサ素子は、一軸磁気異方性を有する磁化固定層と、前記磁化固定層の一面に積層された非磁性層と、前記非磁性層の前記磁化固定層と反対側の面に積層された磁化自由層と、を備え、前記磁化自由層は、ホイスラー合金を含み、駆動時にボルテックス磁気構造を形成する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
一軸磁気異方性を有する磁化固定層と、
前記磁化固定層の一面に積層された非磁性層と、
前記非磁性層の前記磁化固定層と反対側の面に積層された磁化自由層と、を備え、
前記磁化自由層は、ホイスラー合金を含み、駆動時にボルテックス磁気構造を形成する磁気センサ素子。
IPC (6件):
H01L 43/08
, H01L 43/10
, G01R 33/09
, H01F 10/32
, H01F 10/16
, G11B 5/39
FI (6件):
H01L43/08 M
, H01L43/08 Z
, G01R33/06 R
, H01F10/32
, H01F10/16
, G11B5/39
Fターム (34件):
2G017AA01
, 2G017AD55
, 2G017AD65
, 2G017BA05
, 5D034BA03
, 5D034BA30
, 5D034BB14
, 5E049AA04
, 5E049BA16
, 5E049CB02
, 5E049GC01
, 5F092AA01
, 5F092AB01
, 5F092AC08
, 5F092AC12
, 5F092AD03
, 5F092AD22
, 5F092BB05
, 5F092BB10
, 5F092BB22
, 5F092BB23
, 5F092BB24
, 5F092BB31
, 5F092BB34
, 5F092BB35
, 5F092BB36
, 5F092BB37
, 5F092BB44
, 5F092BB53
, 5F092BC04
, 5F092BC18
, 5F092BC22
, 5F092BC42
, 5F092BE27
引用特許:
引用文献:
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