特許
J-GLOBAL ID：201703018148419234
電気機械変換膜の製造装置及びその製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
黒田 壽
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-052743
公開番号（公開出願番号）：特開2014-177042
特許番号：特許第6098934号
出願日： 2013年03月15日
公開日（公表日）： 2014年09月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 電気機械変換膜を形成するための原料の固形分を含む液体を収容する液室と、該液室に連通したノズルとを有し、該ノズルから該液体を吐出させて基板上に該液体の薄膜を形成する液滴吐出ヘッドを備えた電気機械変換膜の製造装置であって、
前記液室に供給される前記原料の固形分を含む液体を収容する第1のタンクと、
前記液室に供給される前記液体の溶媒を収容する第2のタンクと、
を有することを特徴とする電気機械変換膜の製造装置。
IPC (4件)：
B41J 2/16 ( 200 6.01)
, H01L 41/318 ( 201 3.01)
, H01L 41/09 ( 200 6.01)
, C01G 25/00 ( 200 6.01)
B41J 2/16 305
, B41J 2/16 517
, H01L 41/318
, H01L 41/09
, C01G 25/00
