光導波路部品およびその作製方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人谷・阿部特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-055759
公開番号（公開出願番号）：特開2017-173358
出願日： 2016年03月18日
公開日（公表日）： 2017年09月28日
要約：

【課題】シャドウマスク等を用いずに、モードフィールド径変換用光導波路を有する光導波路部品およびその作製方法を提供すること。【解決手段】超短パルスを発生する超短パルスレーザ1から出力された光波は、適宜アッテネータもしくはシャッター2および光路を変換するミラー3などを介して、対物レンズ4により集光され、光導波路が形成されたウエハ7内に集光される。集光された光波はスポット8を形成し、スポット8においてガラスを変質させる。ウエハ7は、コンピュータなどの制御装置5により制御される自動ステージ6により、移動される。したがって、スポット8はウエハ内で移動する。ウエハ7をスポット8に対して移動させることで、導波路構造を形成することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも第1および第2のモードフィールド径を有する光導波路を含む光導波路部品であって、前記光導波路の少なくとも前記第1のモードフィールド径から前記第2のモードフィールド径までのコアとクラッドは同一材料からなり、前記コアは前記クラッドよりも高い屈折率を有する領域を含み、前記コアの前記第1のモードフィールド径を有する領域から前記第2のモードフィールド径を有する領域まで前記高い屈折率を有する領域の屈折率及び断面積の少なくとも一方が連続的に変化していることを特徴とする光導波路部品。

IPC (2件)：

G02B 6/122 , G02B 6/13

FI (2件)：

G02B6/122 311 , G02B6/13

Fターム (24件)：

2H147AB24 , 2H147BB02 , 2H147BB03 , 2H147CA01 , 2H147CA05 , 2H147CB01 , 2H147CD15 , 2H147EA02A , 2H147EA02B , 2H147EA05A , 2H147EA05B , 2H147EA14A , 2H147EA14B , 2H147EA16A , 2H147EA16B , 2H147EA19A , 2H147EA19B , 2H147FB02 , 2H147FB03 , 2H147FC09 , 2H147FD13 , 2H147FD16 , 2H147FE04 , 2H147GA19

引用特許：

審査官引用 (5件)

光遅延回路およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-365171 出願人：株式会社フジクラ
光導波路の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-172831 出願人：日本板硝子株式会社
光導波路部品の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-247404 出願人：株式会社フジクラ

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