特許
J-GLOBAL ID：201703018382081131

超音波探触子および超音波検査装置

発明者：
大野 茂

大野 茂 について

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住川 健太

住川 健太 について

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高橋 卓也

高橋 卓也 について

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柳谷 隆彦

柳谷 隆彦 について


出願人/特許権者：
株式会社日立パワーソリューションズ

株式会社日立パワーソリューションズ について


代理人 (1件)： 特許業務法人磯野国際特許商標事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-130769
公開番号（公開出願番号）：特開2017-017458
出願日： 2015年06月30日
公開日（公表日）： 2017年01月19日
要約：
【課題】200MHz以上の周波数の超音波を送信可能な超音波探触子、および超音波検査装置を容易に形成可能とする。【解決手段】超音波探触子を構成する積層圧電素子40は、下部電極42と上部電極49との間に積層圧電体膜48を設け積層圧電素子40を備えている。積層圧電体膜48は、膜面に対して垂直な方向の自発分極を持つZnO膜43の上に、ZnO膜43とは異なり、かつZnO膜43とは反対方向の自発分極を持つScAlN膜44が直接形成される。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
下部電極と上部電極との間に積層圧電体膜を設けて成る圧電素子を備えており、 前記積層圧電体膜は、膜面に対して実質的に垂直な自発分極を持つ第1圧電材料からなる第1圧電体層の上に、前記第1圧電材料とは異なり、かつ前記第1圧電材料とは反対方向の自発分極を持つ第2圧電材料で構成される第2圧電体層が直接形成されている、 ことを特徴とする超音波探触子。
IPC (3件)：
H04R 17/00 ,  G01N 29/24 ,  G01N 29/265
FI (3件)：
H04R17/00 330E ,  G01N29/24 ,  G01N29/265
Fターム (15件)：
2G047AC10 ,  2G047BA03 ,  2G047BB06 ,  2G047BC07 ,  2G047DB14 ,  2G047EA08 ,  2G047GB12 ,  2G047GB21 ,  2G047GB33 ,  2G047GE02 ,  5D019AA11 ,  5D019AA18 ,  5D019BB05 ,  5D019BB14 ,  5D019FF02
引用特許：
審査官引用 (5件)
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