特許
J-GLOBAL ID：201703018489261620
単結晶引き上げ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
鷲頭 光宏
, 緒方 和文
, 黒瀬 泰之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-074864
公開番号（公開出願番号）：特開2016-121071
特許番号：特許第6090501号
出願日： 2016年04月04日
公開日（公表日）： 2016年07月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ルツボ内の原料を前記ルツボの周囲に設けられたヒータで加熱して原料融液を生成し、前記融液から単結晶を引き上げるチョクラルスキー法による単結晶引き上げ方法であって、
前記単結晶と前記融液との境界を形成するメニスカス部の画像を撮像し、前記画像の輝度分布に基づき前記メニスカス部に表れるフュージョンリングを検出する工程を含み、
前記フュージョンリングを検出する工程は、
前記ヒータからの光が前記メニスカス部に映り込む第1の期間中に第1の参照値を用いて前記フュージョンリングを検出するステップと、
前記ヒータからの光が前記メニスカス部に映り込まない第2の期間中に前記第1の参照値よりも大きな第2の参照値を用いて前記フュージョンリングを検出するステップとを含むことを特徴とする単結晶引き上げ方法。
IPC (2件)：
C30B 15/26 ( 200 6.01)
, C30B 15/22 ( 200 6.01)
