特許
J-GLOBAL ID：201703019046181094
基板保持部材
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
藤枡 裕実
, 深町 圭子
, 伊藤 英生
, 後藤 直樹
, 伊藤 裕介
, 立石 英之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-135970
公開番号（公開出願番号）：特開2014-003079
特許番号：特許第6056210号
出願日： 2012年06月15日
公開日（公表日）： 2014年01月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 四角形状で剛性のある板状物からなる基板を下側から水平方向に保持し、鉛直方向に多段に重ねて、複数の前記基板を保管または搬送する基板用トレイにおいて、
前記基板用トレイの枠体の内側に設けられた基板支持部に固定され、前記基板を下面から保持する基板保持部材であって、
前記基板保持部材は、少なくとも、基板保持部、移動規制部、基板規制部、振動制御部を備え、
前記基板保持部は、その上に基板を保持する平坦な上面を有し、前記基板支持部の上面より突出して固定され、
前記基板保持部は、前記基板保持部の上面に前記移動規制部を有し、
前記移動規制部は、保持する基板の水平方向の移動を規制する、前記基板保持部の平坦な上面と垂直な平面である移動規制面を有し、前記基板用トレイの対向する2辺の前記基板支持部に固定された基板保持部材の移動規制部の前記移動規制面間に基板を保持し、一方の移動規制面と他方の移動規制面との距離が保持される基板の幅より大きくなるように、前記基板保持部材は前記基板支持部に固定され、」
前記基板規制部は、平坦な下面を有し、前記基板支持部の下面より突出して固定され、
前記基板規制部は、前記基板規制部の下面に前記振動制御部を有し、
前記基板用トレイを鉛直方向に多段に重ねて使用する状態で、
第1の基板保持部材の基板保持部の平坦な上面と、その直上に位置する第2の基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、の間隔をa、
前記基板保持部材の基板保持部の平坦な上面と、前記基板保持部材の移動制御部の上面と、の間隔をb、
前記基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、前記基板保持部材の振動制御部の下面と、の間隔をc、
保持される基板の厚さをd、
とした時に、
b<a、b+c>a-d、a-c>d
なる関係を全て満たすように、前記基板保持部、前記移動規制部、前記基板規制部、前記振動制御部が形成され、
前記基板用トレイを鉛直方向に多段に重ねたときに、前記移動規制部の移動規制面に垂直な方向をX方向として、下側に位置する第1の基板保持部材の移動規制面よりX方向側に、その直上に位置する第2の基板保持部材の振動制御部が固定されることを特徴とする基板保持部材。
IPC (3件)：
H01L 21/673 ( 200 6.01)
, B65D 85/86 ( 200 6.01)
, B65D 85/48 ( 200 6.01)
H01L 21/68 U
, B65D 85/38 K
, B65D 85/38 R
, B65D 85/48
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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