特許
J-GLOBAL ID：201703019070228832
ガス放出キャンロール及びその製造方法並びにこれを搭載した長尺基板の真空処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
辻川 典範
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-242856
公開番号（公開出願番号）：特開2017-110239
出願日： 2015年12月14日
公開日（公表日）： 2017年06月22日
要約：
【課題】 信頼性の高いガス放出キャンロール及びその製造方法並びに該キャンロールを搭載したスパッタリング成膜装置を提供する。【解決手段】 複数のガス導入路とそれらの各々から延在する複数のガス放出孔とを備えたキャンロールの製造方法であって、円筒状基材100の外周面側に複数の溝100aを周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って設ける溝切り工程と、円筒状基材100の外周面側に全面に亘って硬質金属のレーザーメタルデポジションによる肉盛りを行うことで複数の溝100aが硬質金属で覆われた構造の複数のガス導入路104を形成する工程と、肉盛りされた外周面を表面加工する工程と、複数のガス導入路104の各々に対して表面加工後の外周面側から穿孔することで複数のガス放出孔105を設ける穿孔工程とからなる。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
中心軸方向に延在する複数のガス導入路とそれらの各々から延在して外周面で開口する複数のガス放出孔とを外周肉厚部に備えたガス放出機構付きキャンロールの製造方法であって、
円筒状基材の外周面側にその中心軸方向に延在する複数の溝を周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って設ける溝切り工程と、前記円筒状基材の外周面側に全面に亘って硬質金属のレーザーメタルデポジションによる肉盛りを行うことで前記複数の溝が前記硬質金属で覆われた構造の複数のガス導入路を形成する工程と、前記肉盛りされた外周面を円筒研削又は研磨する表面加工工程と、前記のガス導入路の各々に対して前記表面加工後の外周面側から穿孔することで複数のガス放出孔を設ける穿孔工程とからなることを特徴とするガス放出機構付きキャンロールの製造方法。
IPC (3件)：
C23C 14/56
, C23C 14/34
, C23C 14/14
C23C14/56 B
, C23C14/34 J
, C23C14/34 N
, C23C14/14 G
, C23C14/56 A
4K029AA11
, 4K029AA25
, 4K029BA08
, 4K029BA25
, 4K029BD01
, 4K029CA05
, 4K029DC03
, 4K029DC04
, 4K029JA10
