特許

J-GLOBAL ID：201703019167558560

表示装置の作製方法

発明者： 山崎 舜平 ,  楠 紘慈 ,  平形 吉晴
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-179806
公開番号（公開出願番号）：特開2017-033002
特許番号：特許第6193457号
出願日： 2016年09月14日
公開日（公表日）： 2017年02月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板上方に、第1の表示素子の反射導電膜を形成する工程と、 前記反射導電膜上方に絶縁膜を形成する工程と、 前記絶縁膜に、前記反射導電膜に到達する開口部を形成する工程と、 前記絶縁膜上方に、前記開口部を通して前記反射導電膜と電気的に接続される導電膜を形成する工程と、 前記絶縁膜上方に、第1のトランジスタと、前記導電膜と電気的に接続される第2のトランジスタとを形成する工程と、 前記絶縁膜上方に、前記第1のトランジスタと電気的に接続される第2の表示素子を形成する工程と、 前記基板を前記反射導電膜と分離する工程と、を有することを特徴とする表示装置の作製方法。

IPC (6件)：

G09F 9/00 ( 200 6.01) ,  G09F 9/30 ( 200 6.01) ,  G09F 9/46 ( 200 6.01) ,  G02F 1/1368 ( 200 6.01) ,  H01L 51/50 ( 200 6.01) ,  H05B 33/10 ( 200 6.01)

FI (6件)：

G09F 9/00 338 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/46 Z ,  G02F 1/136 ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 薄膜素子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-051538   出願人：カシオ計算機株式会社
• 液晶表示装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-012290   出願人：株式会社日立製作所