特許
J-GLOBAL ID：201703019549513302

欠陥検査装置

発明者：
鈴木 昌裕

鈴木 昌裕 について

, 
大西 拓二

大西 拓二 について


出願人/特許権者：
株式会社ヒューテック

株式会社ヒューテック について


代理人 (1件)： 特許業務法人山内特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-031879
特許番号：特許第6039119号
出願日： 2016年02月23日
要約：
【課題】金属の鏡面や、透明フィルムとともにヘアラインのように拡散性のある金属の表面であっても、微細な欠陥を検査することができる欠陥検査装置を提供することを目的とする。 【解決手段】被検査対象Sに向けて直線状の光を放出する投光手段10と、この光を、被検査対象Sを経由して受光する撮影手段20と、が備えられた欠陥検査装置1であって、投光手段には、光源11と、遮光部材15と、が備えられており、遮光部材15に設けられている複数の光通過孔17eを通過して、被検査対象Sを経由した光が全て撮影手段20にあるレンズ22に集光されるように形成されている。この構成により、被検査対象Sの一の部分に照射させられる光が、あらかじめ定められた光通過孔17eを通過した光のみに制限することができ、表面にある微細な欠陥を検査することができる。 【選択図】図1
請求項（抜粋）：
【請求項1】 表面が平坦面である被検査対象の欠陥を検査する装置であって、 前記被検査対象に向けて直線状の光を放出する投光手段と、 該投光手段からの前記光を、前記被検査対象を経由して受光する撮影手段と、が備えられており、 前記投光手段には、 光源と、該光源と前記被検査対象との間に設けられている、該光源から前記被検査対象に照射される前記光を制限する遮光部材と、が備えられており、 前記撮影手段には、 複数の受光素子からなる撮像部と、前記被検査対象を経由した前記光を集光して、前記受光素子に入射させるレンズと、が備えられており、 該遮光部材には、 前記光源から放出される前記光を通過させ、不要散乱光を制限する光通過孔が、前記直線状の前記光の長手方向に複数設けられており、 該光通過孔は、前記被検査対象の表面に欠陥がない場合、該光通過孔を通過して、前記被検査対象を経由した前記光が全て前記レンズに集光されるように形成されており、 前記遮光部材が、あらかじめ定められた形状に変形させられているハニカム構造体を含んで構成され、 該ハニカム構造体の有する六角柱構造の筒状体が前記光通過孔である、 ことを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/84 ( 200 6.01) ,  G01N 21/892 ( 200 6.01) ,  G01N 21/896 ( 200 6.01)
FI (4件)：
G01N 21/84 E ,  G01N 21/892 A ,  G01N 21/892 B ,  G01N 21/896
引用特許：
審査官引用 (5件)
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