特許
J-GLOBAL ID:201703019772429658
膜面垂直通電型巨大磁気抵抗素子及び磁気デバイス
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人 英知国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-120250
公開番号(公開出願番号):特開2017-004585
出願日: 2015年06月15日
公開日(公表日): 2017年01月05日
要約:
【課題】非磁性中間層の改良による高出力の膜面垂直通電型巨大磁気抵抗(CPP-GMR)素子及び磁気デバイスを提供する。【解決手段】強磁性体層13,15としてホイスラー合金薄膜間、または、鉄コバルト系合金薄膜間に、非磁性中間層14(スペーサ層)を配置した構造を有する膜面垂直通電型巨大磁気抵抗(CPP-GMR)素子であって、ホイスラー合金薄膜、または、鉄コバルト系合金薄膜が、L21規則構造、体心立方構造、または、B2規則構造を有する強磁性合金からなり、非磁性中間層(スペーサ層)が、Ag100-xMgx金属化合物(4≦x<25[at.%])を有する。磁気デバイスは、この膜面垂直通電型巨大磁気抵抗(CPP-GMR)素子を有する。【選択図】図3
請求項(抜粋):
ホイスラー合金薄膜間、または、鉄コバルト系合金薄膜間に、非磁性中間層(スペーサ層)を配置した構造を有する膜面垂直通電型巨大磁気抵抗(CPP-GMR)素子であって、
前記ホイスラー合金薄膜、または、鉄コバルト系合金薄膜が、L21規則構造、体心立方構造、または、B2規則構造を有する強磁性合金からなり、
前記非磁性中間層(スペーサ層)が、Ag100-xMgx金属化合物(4≦x<25[at.%])からなることを特徴とする
膜面垂直通電型巨大磁気抵抗(CPP-GMR)素子。
IPC (5件):
G11B 5/39
, H01L 43/08
, H01L 43/10
, H01F 10/30
, H01F 10/16
FI (6件):
G11B5/39
, H01L43/08 M
, H01L43/10
, H01L43/08 Z
, H01F10/30
, H01F10/16
Fターム (24件):
5D034BA03
, 5D034BA05
, 5D034BA08
, 5D034BA21
, 5D034BA30
, 5D034CA06
, 5D034DA07
, 5E049AA04
, 5E049BA12
, 5E049BA16
, 5E049CB02
, 5E049DB12
, 5F092AA02
, 5F092AB02
, 5F092AC08
, 5F092AD03
, 5F092BB10
, 5F092BB24
, 5F092BB32
, 5F092BB44
, 5F092BB53
, 5F092BB55
, 5F092BE13
, 5F092BE21
前のページに戻る